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真空退火炉的快冷操作

点击次数:   更新时间:22/06/29 15:51:06     来源:www.cnfpjcj.com

  真空退火炉升温结束后,进入冷却阶段,是否采用快冷依工艺而定,如果需要进行快冷,那么可以按照以下流程来操作。


 

  1、按真空退火炉工艺要求调整充气压力表的上、下限,调整风机控制压力表的上、下限,在无纸记录仪上调好风机启动温度。
  2、按步骤关闭各真空泵、阀。扩散泵阀→扩散泵→预抽阀→真空阀→罗茨泵→滑阀泵。
  3、按“充气阀”、“确定”,充气阀打开,向真空退火炉炉内充入高纯的N2或Ar(纯度≥99.999%)当炉内压力接近充气压力上限时,关“充气阀”,打开“微充阀”,直到充气上限为止。
  真空退火炉进入冷却阶段时,如果需要快冷,那么操作人员一定要事先掌握好操作流程,同时严格按照步骤要求来进行,确保能够快速达到冷却的效果。

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